新能源行業—半導體工廠
作者: 來源: 日期:2023/4/25 15:53:27 人氣:2612
半導體行業物流的AGV小車控制系統是指在物料離線流轉過程中用于降低人工操作程度的AGV硬件和軟件系統,又包括信息自動化和物流設備自動化兩個部分。信息自動化與工藝步驟的執行過程相關,包括制造執行系統(manufacturing execution system, MES)、信息通訊、工藝設備工作狀態監測(用于工作程序和工藝過程管理)、物料識別和追蹤等等。物流設備自動化通常和傳統流水線,自動立體庫,AGV小車等其他傳送相關的執行器,包括如何將其運送到工藝設備端或者在不同的存儲區域之間進行調度,以及晶片在工藝設備內部的傳送(包括物料緩沖區,裝載端口,晶片傳送機械手臂等)。
從整個工廠的角度來看,許多設備內部的自動化晶片傳送部件也可以被定義為信息自動化系統中設備控制和管理功能的一部分。除了WIP自動傳送外,AGV傳送自動化也是傳送系統自動化的一項內容,它已成為現代化半導體工廠自動化系統中較大的單項投資項目。通過過去幾年的經驗顯示信息自動化可以大大推動產品成品率的提高,因為信息自動化可以大大提高設備管理水平、進行工藝數據收集和統計工藝控制、保證物流控制更加順利,同時還可以提高物料送達的準確率,從而減少誤操作和返工現象。此外,信息自動化還可以改善WIP的直觀監控,實現實時調度AGV及人員,提高生產速度。經驗證明對物流信息自動化進行投資可以增加附加價值。
過去,物流自動化的作用在于保證工藝設備有事可做,維持足夠的WIP流向下一道工序并且使WIP順利地傳送到下一區域,通常采用人工傳送和存儲WIP的運作模式。Intrabay更加復雜的傳送和存儲則通過操作工人按照信息自動化系統的指示來完成,從而在合適的時間將合適的WIP傳送到合適的設備上。現在一部分半導體企業已經啟用有提供的AGV物流系統自動化取代了操作工人的長距離搬送。
人工WIP處理已經被AGV自動化傳送系統所取代,包括所有工藝設備之間的傳送、存儲和分發。AGV中控系統主要用于滿足MES下一道工藝對加工物料的需求。此外,可以通過AGV控制軟件對物料存儲、管理和傳送路線進行優化。現在的的AGV系統已經從上一代“下一道工藝步驟”響應系統發展到較大程度減少設備空閑時間、提高生產速度、縮短生產周期和實現生產目標的先進系統。